限制在电子或机械部件中使用某些有害物质是欧盟的一项指令。传感器制造商必须符合 RoHS 规范，才能在欧盟市场上提供产品。随着新兴材料在商业应用中的使用受到限制，这些规范多年来发生了变化。最初受 RoHS 控制和限制的六种物质是：
- 镉（cd）；
- 六价铬（Cr-vi）；
- 铅（Pb）；
- 汞（Hg）；
- 多溴联苯（PBB）；
- 多溴二苯醚（PBDE）
传感器制造商在制造机械或电子部件时如果使用这些物质，必须确保其水平低于1000 ppm。而对于汞和铅，它们被控制在100 ppm以下更严格的水平。
RoHS 3是新的补充指令，增添了四种限制物质，包括：
- 邻苯二甲酸二（2-乙基己基）酯（DEHP）；
- 邻苯二甲酸丁苄酯（BBP）；
- 邻苯二甲酸二丁酯（DBP）；
- 邻苯二甲酸二异丁酯（DIBP）；
2015年，增塑剂被添加到指令中并有一段宽限期，以便传感器制造商有时间遵守新法规。到2021年，所有欧盟监测和控制设备必须将上述物质的成分保持在1000 ppm 以下，以符合RoHS 3。